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1. (WO2018116631) シリコンウェーハ用リンス剤組成物

Pub. No.:    WO/2018/116631    International Application No.:    PCT/JP2017/038763
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Oct 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C11D 7/22
C11D 17/08
Applicants: KAO CORPORATION
花王株式会社
Inventors: UCHIDA Yohei
内田洋平
Title: シリコンウェーハ用リンス剤組成物
Abstract:
本発明のシリコンウェーハ用リンス剤組成物は、ベタイン構造を有する構成単位Aを含む水溶性高分子Aと、水系媒体とを含む。水溶性高分子Aは、好ましくは下記式(1)で表される構成単位を含む。水溶性高分子は、好ましくは下記式(2)で表される構成単位Bを更に含む。水溶性高分子Aの重量平均分子量は、好ましくは1,000以上、好ましくは3,000,000以下である。本発明のシリコンウェーハ用リンス剤組成物は、必要に応じてpH調整剤を含む。