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1. (WO2018116549) 圧力センサ素子およびそれを備えた圧力センサモジュール

Pub. No.:    WO/2018/116549    International Application No.:    PCT/JP2017/033128
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 14 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/00
H01L 29/84
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: HAMAZAKI, Ryohei
濱▲崎▼ 良平
Title: 圧力センサ素子およびそれを備えた圧力センサモジュール
Abstract:
圧力センサモジュールの圧力センサ素子は、導電性を備えて圧力を受けると変形するメンブレンと、メンブレンと対向する電極面をそれぞれ備える複数の固定電極と、複数の固定電極のそれぞれの電極面上に設けられた誘電体膜と、を有する。複数の固定電極は、メンブレンの中央から外側に向かう方向に配置されている。