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1. (WO2018116335) ガス発生装置

Pub. No.:    WO/2018/116335    International Application No.:    PCT/JP2016/087706
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 20 00:59:59 CET 2016
IPC: C01B 13/11
Applicants: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION
東芝三菱電機産業システム株式会社
Inventors: TABATA Yoichiro
田畑 要一郎
ONO Yuji
小野 祐司
SATO Takasho
佐藤 貴翔
Title: ガス発生装置
Abstract:
本発明は、装置全体のコンパクト化が図りつつ、複数のガス発生器ユニットを搭載したガス発生装置を提供することを目的とする。そして、本発明は、各々がガス発生器(43)を有する6台のガス発生器ユニット(4a~4f)と、6台のガス発生器ユニット(4a~4f)に6つの高周波交流電圧を供給する1単位の多交流電源部(3001)と、6台のガス発生器ユニット(4a~4f)における原料ガス及び出力ガスを制御する1単位のガス制御部(3003)と、各々が互いに独立した所望の電力量を有する6つの高周波交流電圧が供給されるように交流電力制御動作を実行する1単位の制御・操作部構成部(3002)とを有している。そして、6台のガス発生器ユニット(4a~4f)と、1単位の多交流電源部(3001)、ガス制御部(3003)及び制御・操作部構成部(3002)とが一体的に設けられる。