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1. (WO2018110653) ポリシリコン破砕物の付着樹脂の分析方法

Pub. No.:    WO/2018/110653    International Application No.:    PCT/JP2017/044936
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 33/00
C01B 33/02
G01N 1/22
Applicants: TOKUYAMA CORPORATION
株式会社トクヤマ
Inventors: NAMEKAWA, Manato
滑川 真人
TAKEMOTO, Mikie
武本 美貴枝
Title: ポリシリコン破砕物の付着樹脂の分析方法
Abstract:
【課題】 ポリシリコン破砕物の付着樹脂を高い感度で定性、更には、高い精度で定量することが可能な分析方法を提供する。 【解決手段】 ポリシリコン破砕物より有機揮発成分を加熱により除去した後、不活性ガスの流通下、該ポリシリコン破砕物の温度を上昇せしめ、上記加熱温度において発生する樹脂分解物を捕集して、該樹脂分解物に含まれる前記樹脂固有の分解物を分析することにより、前記ポリシリコン破砕物の付着樹脂の種類を特定する。更には、前記樹脂固有の分解物についてそれぞれ検量線を作成し、該検量線に基づいて前記付着樹脂毎の付着量を定量することもできる。