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1. (WO2018110649) 液体材料供給装置、液体材料供給方法、液体供給管のパージ方法、及び、材料ガス供給システム
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国際公開番号: WO/2018/110649 国際出願番号: PCT/JP2017/044921
国際公開日: 21.06.2018 国際出願日: 14.12.2017
IPC:
B67D 7/72 (2010.01) ,B67D 7/02 (2010.01) ,C23C 16/448 (2006.01) ,H01L 21/205 (2006.01)
B 処理操作;運輸
67
びん,広口びんまたは類似の容器の開封または密封;液体の取扱い
D
他に分類されない液体の分与,配達,または移送
7
大型貯蔵容器または貯蔵槽から車両または携帯用容器へ液体移送するための装置または器具,例.小売り用のもの
06
細部または付属品
72
供給点まで液体を押圧するため空気またはその他のガス圧力を利用する装置
B 処理操作;運輸
67
びん,広口びんまたは類似の容器の開封または密封;液体の取扱い
D
他に分類されない液体の分与,配達,または移送
7
大型貯蔵容器または貯蔵槽から車両または携帯用容器へ液体移送するための装置または器具,例.小売り用のもの
02
燃料または潤滑油以外の液体の移送のためのもの
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
448
反応性ガス流を発生させるために用いる方法に特徴があるもの,例.先行する材料の蒸発または昇華によるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20
基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
205
固体を析出させるガス状化合物の還元または分解を用いるもの,すなわち化学的析出を用いるもの
出願人:
株式会社堀場エステック HORIBA STEC, CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番地5 11-5, Hokodate-cho, Kamitoba, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018116, JP
ホリバ ユーケー リミテッド HORIBA UK LIMITED [GB/GB]; ノーサンプトン モルトンパーク キョウトクローズ Kyoto Close, Moulton Park, Northampton NN36FL, GB
発明者:
青 重治 AO, Shigeji; GB
谷口 信次 TANIGUCHI, Shinji; JP
代理人:
西村 竜平 NISHIMURA, Ryuhei; JP
優先権情報:
2016-24382415.12.2016JP
2017-18493726.09.2017JP
発明の名称: (EN) LIQUID MATERIAL SUPPLY DEVICE, LIQUID MATERIAL SUPPLY METHOD, METHOD FOR PURGING LIQUID SUPPLY TUBE, AND MATERIAL GAS SUPPLY SYSTEM
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN MATÉRIAU LIQUIDE, PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN MATÉRIAU LIQUIDE, PROCÉDÉ DE PURGE DE TUBE D'ALIMENTATION EN LIQUIDE ET SYSTÈME D'ALIMENTATION EN MATÉRIAU GAZEUX
(JA) 液体材料供給装置、液体材料供給方法、液体供給管のパージ方法、及び、材料ガス供給システム
要約:
(EN) In order to provide a liquid material supply device with which it is possible to supply a liquid material at a lower pressure than conventionally done while allowing the liquid material to be lifted to a desired height, the present invention is provided with: a storage vessel in which the liquid material is stored; a lead-out tube by which the liquid material is led out of the storage vessel; a temporary retention unit in which a prescribed amount of the liquid material that is led out of the storage vessel is temporarily retained in the temporary retention unit, the temporary retention unit being connected to the lead-out tube; and a pressure-feed mechanism configured so as to bring a gas into contact with the liquid material that is temporarily retained in the temporary retention unit, and push and move the liquid material upward with the gas.
(FR) Afin de produire un dispositif d'alimentation en matériau liquide avec lequel il est possible d'amener un matériau liquide à une pression inférieure à celle habituellement effectuée tout en permettant au matériau liquide d'être soulevé à une hauteur souhaitée, la présente invention est pourvue : d'un récipient de stockage dans lequel le matériau liquide est stocké ; d'un tube de sortie par lequel le matériau liquide sort du récipient de stockage ; d'une unité de retenue temporaire dans laquelle une quantité prescrite du matériau liquide qui sort du récipient de stockage est temporairement retenue dans l'unité de retenue temporaire, l'unité de retenue temporaire étant reliée au tube de sortie ; et d'un mécanisme d'alimentation en pression conçu de façon à amener un gaz en contact avec le matériau liquide qui est temporairement retenu dans l'unité de retenue temporaire, et à pousser et déplacer le matériau liquide vers le haut avec le gaz.
(JA) 液体材料を所望の高さの上方まで持ち上げること可能にしながら、従来よりも低圧で供給する事を可能とする液体材料供給装置を提供するために、液体材料が貯留される貯留容器と、前記貯留容器から液体材料が外部へと導出される導出管と、前記導出管と接続され、前記貯留容器から導出された所定量の液体材料が一時滞留する一時滞留部と、前記一時滞留部に一時滞留している液体材料に気体を接触させて、当該気体で上方へ押し上げて移送するように構成された圧送機構とを備えた。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)