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1. (WO2018110567) 窒化ケイ素粉末、多結晶シリコンインゴット用離型剤及び多結晶シリコンインゴットの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/110567    International Application No.:    PCT/JP2017/044619
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 13 00:59:59 CET 2017
IPC: C01B 21/068
C01B 33/02
Applicants: UBE INDUSTRIES, LTD.
宇部興産株式会社
Inventors: OHMARU, Takuji
王丸 卓司
SHIBATA, Koji
柴田 耕司
YAMAO, Takeshi
山尾 猛
YAMADA, Tetsuo
山田 哲夫
Title: 窒化ケイ素粉末、多結晶シリコンインゴット用離型剤及び多結晶シリコンインゴットの製造方法
Abstract:
一方向凝固時のシリコンの溶融温度を高くした場合でも、あるいはシリコンの溶融時間を長くした場合でも、多結晶シリコンインゴットの離型性が良好な、多結晶シリコンインゴットの離型剤として好適に使用することができる窒化ケイ素粉末を提供することを目的とする。比表面積が2m2/g以上13m2/g以下であり、β型窒化ケイ素の割合が50質量%以上であり、β型窒化ケイ素の結晶子径DCが150nm以上であり、比表面積相当径DBETとDCとの比DBET/DC(nm/nm)が3以下であり、粒度分布測定により得られる頻度分布曲線が二つのピークを有し、該ピークのピークトップが、0.5~2μmの範囲と、6~30μmの範囲にあり、前記ピークトップの頻度の比が0.1~1であることを特徴とする窒化ケイ素粉末を提供する。