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1. (WO2018110564) 窒化ケイ素粉末および窒化ケイ素焼結体の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/110564    International Application No.:    PCT/JP2017/044612
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 13 00:59:59 CET 2017
IPC: C01B 21/068
C04B 35/587
Applicants: UBE INDUSTRIES, LTD.
宇部興産株式会社
Inventors: OHMARU, Takuji
王丸 卓司
SHIBATA, Koji
柴田 耕司
YAMAO, Takeshi
山尾 猛
YAMADA, Tetsuo
山田 哲夫
Title: 窒化ケイ素粉末および窒化ケイ素焼結体の製造方法
Abstract:
焼結時の雰囲気圧力を大きくすることなく、焼結後に熱処理を行わなくても、高い熱伝導率と高い機械的強度を併せ持つ窒化ケイ素焼結体を製造することができる窒化ケイ素粉末を提供することを目的とする。比表面積が5m2/g以上20m2/g以下であり、β型窒化ケイ素の割合が70質量%以上であり、D50が0.5μm以上3μm以下であり、D90が3μm以上6μm以下であり、Feの含有割合が200ppm以下であり、Alの含有割合が200ppm以下であり、FeおよびAl以外の金属不純物の含有割合の合計が200ppm以下であり、β型窒化ケイ素の結晶子径DCが60nm以上であり、比表面積相当径DBETとDCとの比DBET/DC(nm/nm)が3以下であり、β型窒化ケイ素の結晶歪が1.5×10-4以下であることを特徴とする窒化ケイ素粉末を提供する。