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1. (WO2018110517) インプリント装置、及び物品の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/110517    International Application No.:    PCT/JP2017/044432
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 12 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/027
B29C 59/02
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
キヤノン株式会社
Inventors: KONDO Yousuke
近藤 陽介
Title: インプリント装置、及び物品の製造方法
Abstract:
インプリント装置は、吐出口を含み、吐出口を介してインプリント材を吐出する吐出部と、基板を保持して移動するステージ104と、ステージ104の移動を制御する制御部と、を有する。制御部は、複数の領域のうちの第1領域に前記パターンを形成してから複数の領域のうち第1領域とは異なる第2領域にパターンを形成するまでの期間において第1領域に吐出口に対向する対向位置を通過させず、且つ、吐出口と対向する対向位置で該対向位置から前記基板に沿った気流が生じた状態で吐出部が前記基板に対して最後にインプリント材を吐出してから所定時間が経過したあとに、パターンの形成された領域に対向位置を通過させるように前記ステージの移動を制御する。