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1. (WO2018110457) 流体制御装置

Pub. No.:    WO/2018/110457    International Application No.:    PCT/JP2017/044221
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: A61M 16/00
F04D 27/00
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: HIGASHIYAMA, Yuzo
東山 祐三
WADA, Hiroaki
和田 寛昭
Title: 流体制御装置
Abstract:
流体制御装置1のケース10の内部は、区画壁12によって送風室21と制御室22とに区画されている。送風室21の内部には、隔壁13が配設され、送風室21の内部が、第1送風室21aと第2送風室21bとに区画されている。第2送風室21bにファンユニット30が収容されている。差圧センサ41が第1送風室21aの内部の圧力と第2送風室21bの内部の圧力との差圧を検知し、検知された差圧に基づいて制御ユニット40がファン32を制御する。