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1. (WO2018110309) 光検出器

Pub. No.:    WO/2018/110309    International Application No.:    PCT/JP2017/043171
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017
IPC: G01J 1/02
H01L 27/144
H01L 31/0248
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: YAMAZAKI Masahiro
山崎 理弘
SHIBAYAMA Katsumi
柴山 勝己
KITAURA Ryusuke
北浦 隆介
Title: 光検出器
Abstract:
光検出器は、基板と、基板の表面との間に空隙が形成されるように基板の表面上に支持された膜体と、を備え、膜体は、曲線部を含むラインに沿って延在するギャップを介して互いに対向する第1配線層及び第2配線層と、第1配線層及び第2配線層のそれぞれと電気的に接続され、温度に依存する電気抵抗を有する抵抗層と、を有し、第1配線層におけるライン側の第1縁部及び第2配線層におけるライン側の第2縁部は、それぞれ、連続的に延在している。