国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018110258) 固体撮像素子

Pub. No.:    WO/2018/110258    International Application No.:    PCT/JP2017/042400
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 28 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 27/146
H04N 5/359
H04N 5/369
H04N 5/374
Applicants: TOWERJAZZ PANASONIC SEMICONDUCTOR CO., LTD.
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
Inventors: TSUTSUI Masafumi
筒井 将史
Title: 固体撮像素子
Abstract:
固体撮像素子は、受光部(100)と、電荷保持部(101)と、ゲート電極(202)と、受光部と電荷保持部との間の領域に形成された第1のトレンチ(200)と、第1のトレンチ内に設けられた第1の絶縁膜(160)と、転送部(201)と、電荷保持部、転送部及びゲート電極上を覆う遮光膜(204)とが設けられた画素を備える。平面視において、受光部から電荷保持部へと向かう方向の、遮光膜の端から転送部を挟んで電荷保持部に至るまでの距離は、遮光膜の端から第1のトレンチを挟んで電荷保持部に至るまでの距離よりも長い。