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1. (WO2018110253) 蒸着マスク装置及び蒸着マスク装置の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/110253    International Application No.:    PCT/JP2017/042297
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 25 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/04
C23F 1/00
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
大日本印刷株式会社
Inventors: NAKAMURA Yusuke
中村 友祐
OKAMOTO Hideyuki
岡本 英介
USHIKUSA Masato
牛草 昌人
Title: 蒸着マスク装置及び蒸着マスク装置の製造方法
Abstract:
【課題】蒸着マスクにシワや変形が生じることを抑制することができる蒸着マスク装置及びこの蒸着マスク装置の製造方法を提供する。 【解決手段】蒸着マスク装置10は、複数の第1貫通孔25が配置された有効領域22を有する蒸着マスク20と、蒸着マスク20に取り付けられたフレーム15と、を備え、蒸着マスク20とフレーム15とを互いに接合する複数の接合部60を有し、複数の接合部60は、蒸着マスク20の外縁26に沿って配列されており、蒸着マスク20の外縁26における、隣り合う二つの接合部60の間に対応する位置に、切欠き42が形成されている。