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1. (WO2018110225) ターゲット用シャッタ機構及びそれを備えた成膜装置

Pub. No.:    WO/2018/110225    International Application No.:    PCT/JP2017/041898
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 22 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/34
C23C 14/54
Applicants: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
株式会社神戸製鋼所
Inventors: OHBA, Naoki
大庭 尚樹
Title: ターゲット用シャッタ機構及びそれを備えた成膜装置
Abstract:
ターゲット(3)の基材対向面(30)を開閉するシャッタ機構が提供される。シャッタ機構は、第1及び第2の縁部(30a,30b)をそれぞれ有する第1及び第2のシャッタ板(11A,11B)を有するシャッタ(6)と、第1及び第2の縁部(30a,30b)が重なり合う閉位置と開位置との間で第1及び第2のシャッタ板(11A,11B)が移行できるように第1及び第2のシャッタ板(11A,11B)を基材対向面(30)の法線方向に延びる第1及び第2の回転軸(SA,SB)回りに回転自在にそれぞれ支持する第1及び第2の回転支持部(13A,13B)と、を備える。第1及び第2の回転軸(13A,13B)は、第1及び第2の縁部(30a,30b)が開位置において基材対向面(30)の辺に沿うように、第1及び第2の縁部(30a,30b)の重なり領域を挟んで両側に分かれて配置されている。