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1. (WO2018110221) 固浸レンズユニット及び半導体検査装置

Pub. No.:    WO/2018/110221    International Application No.:    PCT/JP2017/041852
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 22 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 7/02
G02B 21/00
G02B 21/02
H01L 21/66
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: NAKAMURA Tomonori
中村 共則
NAKAMURA Akihiro
中村 明裕
Title: 固浸レンズユニット及び半導体検査装置
Abstract:
固浸レンズユニットは、検査対象物に当接させられる当接面、及び対物レンズに対向させられる球面を有する固浸レンズと、固浸レンズを保持するホルダと、ホルダに設けられた磁石と、球面に対向する位置において磁石の磁力によって回転可能に保持された球体と、を備える。ホルダは、球面が球体に接触した状態において固浸レンズを揺動可能に保持している。