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1. (WO2018110163) 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体
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国際公開番号: WO/2018/110163 国際出願番号: PCT/JP2017/040365
国際公開日: 21.06.2018 国際出願日: 09.11.2017
IPC:
C03C 3/085 (2006.01) ,B32B 17/00 (2006.01) ,C03C 3/091 (2006.01) ,C03C 3/093 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 23/12 (2006.01) ,H01L 23/15 (2006.01)
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
3
ガラスの組成物
04
シリカを含むもの
076
重量比で40%から90%シリカを有するもの
083
酸化アルミニウムまたは鉄化合物を含むもの
085
二価金属の酸化物を含むもの
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
17
本質的にシートガラス,またはガラス,スラグまたは類似の繊維からなる積層体
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
3
ガラスの組成物
04
シリカを含むもの
076
重量比で40%から90%シリカを有するもの
089
ほう素を含むもの
091
アルミニウムを含むもの
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
3
ガラスの組成物
04
シリカを含むもの
076
重量比で40%から90%シリカを有するもの
089
ほう素を含むもの
091
アルミニウムを含むもの
093
亜鉛またはジルコニウムを含むもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
12
マウント,例.分離できない絶縁基板
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
12
マウント,例.分離できない絶縁基板
14
材料またはその電気特性に特徴のあるもの
15
セラミックまたはガラス基板
出願人:
日本電気硝子株式会社 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. [JP/JP]; 滋賀県大津市晴嵐二丁目7番1号 7-1, Seiran 2-chome, Otsu-shi Shiga 5208639, JP
発明者:
鈴木 良太 SUZUKI Ryota; JP
優先権情報:
2016-24174014.12.2016JP
2017-17014305.09.2017JP
発明の名称: (EN) GLASS SUPPORT SUBSTRATE AND LAMINATE USING SAME
(FR) SUBSTRAT DE SUPPORT EN VERRE ET STRATIFIÉ L'UTILISANT
(JA) 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体
要約:
(EN) The glass support substrate according to the present invention is for supporting a substrate to be processed, and is characterized by containing, as a glass composition, in mass%, 45-70% of SiO2, more than 10.5 but not more than 35% of Al2O3, 0-20% of B2O3, 5-25% of Na2O, 0-10% of K2O, 1-10% of MgO, and 0-5% of ZnO, and having a crack resistance of 500 gf or more.
(FR) Le substrat support en verre selon la présente invention est destiné à supporter un substrat devant être traité, et est caractérisé en ce qu'il contient, en tant que composition de verre, en pourcentage en masse, de 45 à 70 % de SiO2, une quantité supérieure à 10,5 mais inférieure ou égale à 35 % d'Al2O3, de 0 à 20 % de B2O3, de 5 à 25 % de Na2O, de 0 à 10 % de K2O, de 1 à 10 % de MgO et de 0 à 5 % de ZnO, et présentant une résistance à la fissuration supérieure ou égale à 500 gf.
(JA) 本発明の支持ガラス基板は、加工基板を支持するための支持ガラス基板であって、ガラス組成として、質量%で、SiO 45~70%、Al 10.5超~35%、B 0~20%、NaO 5~25%、KO 0~10%、MgO 1~10%、ZnO 0~5%を含有し、且つクラック抵抗が500gf以上であることを特徴とする。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)