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1. (WO2018110140) 気体センサ装置

Pub. No.:    WO/2018/110140    International Application No.:    PCT/JP2017/039862
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 07 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 25/18
G01F 1/692
G01N 25/62
G01N 27/18
Applicants: HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD.
日立オートモティブシステムズ株式会社
Inventors: NAKANO Hiroshi
中野 洋
MATSUMOTO Masahiro
松本 昌大
ONOSE Yasuo
小野瀬 保夫
HOSHIKA Hiroaki
星加 浩昭
Title: 気体センサ装置
Abstract:
本発明の目的は、広範囲に且つ複雑に変化する温度環境下において、経時変化を高精度に検出し長期間測定精度を維持することができる気体センサ装置を提供することにある。 基板上2に形成された熱絶縁膜8a,8bと、熱絶縁膜8a,8b上に設けられ気体の物理量を計測する第1ヒータ3と、熱絶縁膜8a,8b上に第1ヒータと同一抵抗層で形成される参照抵抗4と、を備えた気体センサ装置において、第1ヒータ3と参照抵抗4とを同時に加熱する第2ヒータ5を備える。