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1. (WO2018110121) 邪魔板

Pub. No.:    WO/2018/110121    International Application No.:    PCT/JP2017/038997
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/677
B65G 49/07
Applicants: HARMOTEC CO., LTD.
株式会社ハーモテック
Inventors: IWASAKA Hitoshi
岩坂 斉
TOKUNAGA Hideyuki
徳永 英幸
KASAI Yuji
河西 裕二
KOSHIISHI Katsuhiro
輿石 克洋
TANAKA Hidemitsu
田中 秀光
Title: 邪魔板
Abstract:
旋回流形成体1に取り付けられる邪魔板2は、旋回流形成体1から着脱可能なように設けられる邪魔板本体21であって、旋回流形成体1が発生させる負圧により吸引される流体を通しつつ、旋回流形成体1の凹部13内への被吸引物の進入を阻害する邪魔板本体21と、一端側は旋回流形成体1の本体11に固定され、他端側は邪魔板本体21を旋回流形成体1の端面12に対向するように支持する支持部材であって、端面12と邪魔板本体21の間に間隙が保持されるとともに、凹部13から流出する流体が流れるための流路が形成されるように邪魔板本体21を支持する支持部材22とを備える。