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1. (WO2018110057) 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置

Pub. No.:    WO/2018/110057    International Application No.:    PCT/JP2017/036861
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: H03H 9/25
H01L 23/02
H01L 23/10
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: HATSUDA, Ippei
初田 一平
Title: 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置
Abstract:
圧電基板等の圧電体に加わる応力を分散することができ、圧電体の破損が生じ難い、弾性波装置を提供する。 弾性波装置1は、圧電基板2(圧電体)と、圧電基板2上に設けられているIDT電極3(機能電極)と、IDT電極3を囲むように、圧電基板2上に設けられている支持部材4と、支持部材4上に設けられているカバー部材6とを備える。支持部材4は、圧電基板2よりも熱膨張係数が大きい。IDT電極3は、圧電基板2、支持部材4及びカバー部材6により囲まれた中空空間A内に設けられている。支持部材4は、中空空間A側の面である内面4bと、内面4bとは反対側の面である外面4cとを有し、かつ、内面4b及び外面4cのうち少なくとも一方に設けられている凹部5を有する。