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1. (WO2018109803) 原子間力顕微鏡

Pub. No.:    WO/2018/109803    International Application No.:    PCT/JP2016/086900
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 13 00:59:59 CET 2016
IPC: G01Q 20/02
G01Q 60/24
Applicants: OLYMPUS CORPORATION
オリンパス株式会社
Inventors: KODA, Yuka
香田 由佳
SAKAI, Nobuaki
酒井 信明
Title: 原子間力顕微鏡
Abstract:
原子間力顕微鏡は、XY可動台(13)と、前記XY可動台をXY平面に平行な面内でXY走査させるXYスキャナ(14)と、前記XY可動台に固定端が保持され、自由端にカンチレバーを保持し、前記カンチレバー(17)を前記XY平面に垂直なZ軸に沿ってZ走査させるZスキャナ(15)と、前記カンチレバーの変位を光学的に検出する光学式変位センサを備えている。前記光学式変位センサは、前記XY可動台に保持された集光レンズ(12)を含んでいる。前記集光レンズは、入射する検出光を集光し、集束されたスポットを有する検出光を生成し、生成された検出光を前記カンチレバーに照射する。原子間力顕微鏡はさらに、Z走査に起因する前記照射エリアの位置の前記カンチレバーに沿った移動を、Z走査に応じて抑えるZ走査追従システムを備えている。