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1. (WO2018105658) 近接露光装置及び近接露光方法

Pub. No.:    WO/2018/105658    International Application No.:    PCT/JP2017/043825
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 07 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 9/00
G02B 5/10
G03F 7/20
Applicants: V TECHNOLOGY CO., LTD.
株式会社ブイ・テクノロジー
Inventors: KAWASHIMA Hironori
川島 洋徳
Title: 近接露光装置及び近接露光方法
Abstract:
曲率を補正可能なミラー変形ユニット(70)を有する平面ミラー(68)と、マスクM側のアライメントマーク(Ma)とワーク(W)側のアライメントマーク(Wa)とを撮像可能なCCDカメラ(30)と、1層目のマスク(M)のパターンを露光する際におけるワーク(W)に照射される主光線(EL)の角度とマスク(M)及びワーク(W)間のギャップとから計算されるアライメントマーク(Wa)の初期ずれ成分を記憶する記憶部(91)と、2層目以降のマスク(M)のパターンを露光する際、CCDカメラ(30)により観測されるワーク(W)側のアライメントマーク(Wa)に対して初期ずれ成分をオフセットして得られたワーク(W)側の補正アライメントマーク(Wa´)と、マスクM側のアライメントマーク(Ma)とでアライメント調整する制御装置(90)と、を備える。