国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018105620) 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体

Pub. No.:    WO/2018/105620    International Application No.:    PCT/JP2017/043680
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 06 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/09
G03F 7/004
G03F 7/033
G03F 7/20
H05K 3/00
Applicants: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
旭化成株式会社
Inventors: MATSUDA, Takayuki
松田 隆之
NISHIZAWA, Go
西澤 豪
MIYAZAKI, Jun
宮崎 純
Title: 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体
Abstract:
露光時の焦点がずれたときであっても、高解像性及び良好な線幅再現性を発現する感光性樹脂積層体を提供する。支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、支持フィルムの任意の10箇所において一辺5mmの正方形状の小片を切り出したときの、各小片中に含まれる1.5μm以上4.5μm未満の微粒子の数が、前記10箇所平均で0~200個である。