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1. (WO2018105620) 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/105620    国際出願番号:    PCT/JP2017/043680
国際公開日: 14.06.2018 国際出願日: 05.12.2017
IPC:
G03F 7/09 (2006.01), G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/033 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01)
出願人: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-105, Kanda Jinbocho, Chiyoda-ku, Tokyo 1018101 (JP)
発明者: MATSUDA, Takayuki; (JP).
NISHIZAWA, Go; (JP).
MIYAZAKI, Jun; (JP)
代理人: AOKI, Atsushi; (JP).
MITSUHASHI, Shinji; (JP).
NAKAMURA, Kazuhiro; (JP).
SAITO, Miyako; (JP).
MIMA, Shunsuke; (JP)
優先権情報:
2016-237556 07.12.2016 JP
2017-058855 24.03.2017 JP
発明の名称: (EN) PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE ET STRATIFIÉ DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE
(JA) 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体
要約: front page image
(EN)Provided is a photosensitive resin laminate that is capable of ensuring high resolution and favorable line width reproducibility even when a deviation in focusing occurs during exposure. This photosensitive resin laminate is provided with a support film and a photosensitive resin composition layer that comprises a photosensitive resin composition and that is formed on said support film, wherein when a 5-mm square piece is cut out at arbitrarily-defined ten locations in the support film, the number of fine particles that have a size of not less than 1.5 μm but less than 4.5 μm and that are included in each of the pieces is 0-200 on average across the ten locations.
(FR)L'invention concerne un stratifié de résine photosensible pouvant assurer une haute résolution et une reproductibilité de largeur de ligne satisfaisante même lorsqu'un écart de focalisation apparaît pendant une exposition. Le stratifié de résine photosensible d'après l'invention est pourvu d'un film de support et d'une couche en une composition de résine photosensible qui contient une composition de résine photosensible et qui est formée sur ledit film de support. Lorsqu'une pièce carrée de 5 mm est découpée en dix emplacements définis arbitrairement dans le film de support, le nombre de particules fines d'une taille supérieure ou égale à 1,5 µm et inférieure à 4,5 µm comprises dans chacune des pièces se situe entre 0 à 200 en moyenne sur les dix emplacements.
(JA)露光時の焦点がずれたときであっても、高解像性及び良好な線幅再現性を発現する感光性樹脂積層体を提供する。支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、支持フィルムの任意の10箇所において一辺5mmの正方形状の小片を切り出したときの、各小片中に含まれる1.5μm以上4.5μm未満の微粒子の数が、前記10箇所平均で0~200個である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)