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1. (WO2018105558) 固体撮像素子

Pub. No.:    WO/2018/105558    International Application No.:    PCT/JP2017/043487
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 05 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 27/146
H04N 5/369
H04N 9/07
Applicants: TOPPAN PRINTING CO.,LTD.
凸版印刷株式会社
Inventors: YAMAMOTO Kazuto
山本 和人
SAKATA Yo
坂田 陽
Title: 固体撮像素子
Abstract:
光電変換素子を透過した赤色光を効率よく光電変換素子に向けて反射することができて優れた赤色光感度を有し、かつ、素子形成時の基板ハンドリングが容易である固体撮像素子を提供する。固体撮像素子は、半導体層(20)内に複数の光電変換素子21が二次元状に配列されて構成されている。そして、半導体層(20)は、表面に層間絶縁層(22)と複数の光反射構造(14)とが形成された支持基板(10)上に形成されている。光反射構造(14)は、光透過層(11)と該光透過層(11)の表面を覆う曲面形状からなる反射金属(12)とを有し、かつ、各光電変換素子(21)の裏面側にそれぞれ配置されている。層間絶縁層(22)は、隣り合う光反射構造(14)の間に位置している。