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1. (WO2018105462) 信号処理方法及びプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/105462 国際出願番号: PCT/JP2017/042854
国際公開日: 14.06.2018 国際出願日: 29.11.2017
IPC:
G01N 15/14 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者: UMEHARA, Yasutoshi; JP
代理人: ITOH, Tadashige; JP
ITOH, Tadahiko; JP
優先権情報:
2016-23869108.12.2016JP
発明の名称: (EN) SIGNAL PROCESSING METHOD AND PROGRAM
(FR) PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE TRAITEMENT DE SIGNAUX
(JA) 信号処理方法及びプログラム
要約: front page image
(EN) Provided is a signal processing method in which a computer executes the processes of: detecting a signal of light radiated onto a fluid object being inspected; searching for a waveform peak in the detected signal; fitting the width of the waveform of the searched peak; calculating a characteristic value of the fitted waveform; and determining, on the basis of whether the characteristic value of the calculated waveform falls within a pre-determined threshold range, whether the signal with the fitted waveform is a signal representing a fine particle in the object being inspected.
(FR) L’invention concerne un procédé de traitement de signaux dans lequel un ordinateur exécute les processus consistant : à détecter un signal de lumière projeté sur un objet fluide qui est inspecté ; à rechercher une crête de forme d’onde dans le signal détecté ; à adapter la largeur de la forme d’onde de la crête recherchée ; à calculer une valeur caractéristique de la forme d’onde adaptée ; et à déterminer, sur la base de la présence ou non de la valeur caractéristique de la forme d’onde calculée dans une plage de seuil préétablie, si le signal avec la forme d’onde adaptée est ou non un signal représentant une particule fine dans l’objet qui est inspecté.
(JA) 流体の被検査体に照射した光の信号を検出し、検出した前記信号の波形のピークをサーチし、サーチした前記ピークの波形の幅をフィッティングし、前記フィッティングした波形の特徴量を算出し、算出した前記波形の特徴量が予め定められた閾値の範囲内かに基づき、前記フィッティングした波形の信号が前記被検査体の中の微粒子を示す信号か否かを判定する処理をコンピュータが実行する信号処理方法が提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)