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1. (WO2018105418) インプリントシステム、および物品製造方法

Pub. No.:    WO/2018/105418    International Application No.:    PCT/JP2017/042311
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 28 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/027
B29C 59/02
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
キヤノン株式会社
Inventors: YAMAMOTO, Kiyohito
山本 磨人
Title: インプリントシステム、および物品製造方法
Abstract:
レプリカ製造装置は、マスターモールドを用いてレプリカ基板の上にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行い、該パターンが形成されたレプリカ基板を加工することによりレプリカモールドを作製するとともに、インプリント処理に関する条件のデータを管理装置に転送する。インプリント装置は、管理装置からデータを取得し、該取得したデータに含まれる条件に従い、レプリカモールドを用いて基板の上のインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行う。