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1. (WO2018105353) ナノインプリント金型の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/105353    International Application No.:    PCT/JP2017/041323
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: B29C 59/02
B29C 33/40
Applicants: STANLEY ELECTRIC CO., LTD.
スタンレー電気株式会社
Inventors: TAMARI, Naoki
溜 直樹
Title: ナノインプリント金型の製造方法
Abstract:
重合性単量体、珪素化合物および光重合開始剤を含有する光硬化性組成物を塗膜材として使用して、基材層とパターン層とを含んでなる積層体からなるナノインプリント用レプリカ金型を製造する方法であって、前記基材層上に直接又は間接的に形成した、金型にてパターンを転写した塗膜材の光硬化膜面を有する積層体を、H2O存在下でプラズマ雰囲気に供した後、シランカップリング剤と反応させて離型処理することを特徴とするナノインプリント用レプリカ金型の製造方法を提供する。