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1. (WO2018105332) 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/105332 国際出願番号: PCT/JP2017/040908
国際公開日: 14.06.2018 国際出願日: 14.11.2017
IPC:
G01B 15/02 (2006.01) ,G01B 11/00 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G01N 21/17 (2006.01) ,G01N 21/49 (2006.01)
出願人: PIONEER CORPORATION[JP/JP]; 28-8, Honkomagome 2-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1130021, JP
発明者: OCHIAI, Takanori; JP
OGASAWARA, Masakazu; JP
代理人: EGAMI, Tatsuo; JP
NAKAMURA, Toshinobu; JP
優先権情報:
2016-23666606.12.2016JP
発明の名称: (EN) INSPECTING DEVICE, INSPECTING METHOD, COMPUTER PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION, PROCÉDÉ D'INSPECTION, PROGRAMME INFORMATIQUE ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体
要約: front page image
(EN) An inspecting device (100) is provided with: a radiating unit (110) which radiates terahertz waves (THz) onto a sample (S) laminated into a plurality of layers (L); a detecting unit (130) which acquires a detected waveform (DW) by detecting terahertz waves from the sample; a selecting unit (1522) which selects a portion of a library representing an estimated waveform (EW), on the basis of the detected waveform; and an estimating unit (1523) which estimates a position (B) of an interface between the plurality of layers, on the basis of the detected waveform and the selected partial library.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection (100) qui est pourvu : d'une unité rayonnante (110) qui rayonne des ondes térahertz (THz) sur un échantillon (S) stratifié en une pluralité de couches (L) ; d'une unité de détection (130) qui acquiert une forme d'onde détectée (DW) par la détection d'ondes térahertz de l'échantillon ; d'une unité de sélection (1522) qui sélectionne une partie d'une bibliothèque représentant une forme d'onde estimée (EW), en fonction de la forme d'onde détectée ; d'une unité d'estimation (1523) qui estime la position (B) d'une interface entre la pluralité de couches, en fonction de la forme d'onde détectée et de la bibliothèque partielle sélectionnée.
(JA) 検査装置(100)は、複数の層(L)が積層された試料(S)にテラヘルツ波(THz)を照射する照射部(110)と、試料からのテラヘルツ波を検出して検出波形(DW)を取得する検出部(130)と、検出波形に基づいて、推定波形(EW)を示すライブラリのうちの一部を選択する選択部(1522)と、検出波形と選択された一部のライブラリとに基づいて、複数の層の界面の位置(B)を推定する推定部(1523)と を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)