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1. (WO2018105262) 洗浄方法及び洗浄装置

Pub. No.:    WO/2018/105262    International Application No.:    PCT/JP2017/038684
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Oct 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: B08B 3/00
B08B 3/02
B08B 3/04
B08B 3/12
Applicants: IHI CORPORATION
株式会社IHI
IHI MACHINERY AND FURNACE CO., LTD.
株式会社IHI機械システム
Inventors: KATSUMATA Kazuhiko
勝俣 和彦
MITSUZUKA Masatoshi
三塚 正敏
NAGATA Takahiro
永田 喬裕
KIYA Noboru
木屋 昇
Title: 洗浄方法及び洗浄装置
Abstract:
本開示の洗浄方法は、被処理物(W)を蒸気洗浄する蒸気洗浄工程と、被処理物(W)に付着した液体汚れ成分を揮発させる揮発洗浄工程と、洗浄液に被処理物(W)を浸漬させる浸漬洗浄工程と、被処理物(W)を乾燥させる乾燥工程と、を有し、前記揮発洗浄工程と前記浸漬洗浄工程とを交互に複数回繰り返す。