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1. (WO2018105008) 発電素子の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/105008    International Application No.:    PCT/JP2016/086075
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 06 00:59:59 CET 2016
IPC: H02N 2/18
H01L 41/113
Applicants: TRI-FORCE MANAGEMENT CORPORATION
株式会社トライフォース・マネジメント
Inventors: OKADA Kazuhiro
岡田 和廣
OKADA Miho
岡田 美穂
Title: 発電素子の製造方法
Abstract:
主基板K1、中基板K2及び台座基板K3を積層して発電素子10を製造する。未加工の中基板K2の表面側に対してエッチング又はダイシングを行い、第一台座部34及び重錘体22となる部分とその他の部分とを区切る溝42を形成する。さらに、重錘体22となる部分の表面側の一部及び前記その他の部分の表面側をエッチングにより掘り込んで凹ませる。主基板K1の裏面側に中基板K2の表面側を当接させ、周縁部12に第一台座部34を接合するとともに、重錘体取り付け部16に重錘体22を接合する。中基板K2の溝42の位置を裏面側から切断し、その他の部分を除去する。