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1. (WO2018104988) 活性ガス生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/104988 国際出願番号: PCT/JP2016/085999
国際公開日: 14.06.2018 国際出願日: 05.12.2016
IPC:
H01L 21/31 (2006.01) ,H05H 1/24 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31
半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
出願人: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION[JP/JP]; 3-1-1 Kyobashi, Chuo-ku, Tokyo 1040031, JP
発明者: WATANABE Kensuke; JP
YAMADA Yoshihito; JP
NISHIMURA Shinichi; JP
代理人: YOSHITAKE Hidetoshi; JP
ARITA Takahiro; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ACTIVE GAS GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE GAZ ACTIF
(JA) 活性ガス生成装置
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide an active gas generation device capable of generating a high-quality active gas. By means of electrical discharge generated in a discharge space (66) formed between a high voltage-side electrode constituting section (1A) and a grounding-side electrode constituting section (2A) of an active gas generating electrode group (301), the present invention activates a starting material gas that has been supplied, and generates an active gas. A combined structure of covers (31, 32) has starting material gas flow channels (31h, 32h) for a starting material gas supply path, said starting material gas flow channels completely separating the discharge space (66) and an alternating current voltage applying space (R31) from each other, and independently from the alternating current voltage applying space (R31), guiding to the discharge space (66) the starting material gas supplied from the outside. A housing contact space (R34) formed between a metal housing (34) and the covers (31, 32) and between the metal housing and an electrode constituting section disposition table (33) is completely separated from the alternating current voltage applying space (R31) and the discharge space (66).
(FR) L'objectif de la présente invention est de produire un dispositif de génération de gaz actif pouvant générer un gaz actif de haute qualité. Au moyen d'une décharge électrique générée dans un espace de décharge (66) formé entre une section de constitution d'électrode côté haute tension (1A) et une section de constitution d'électrode côté masse (2A) d'un groupe d'électrodes de génération de gaz actif (301), la présente invention active une matière gazeuse de départ qui a été fournie, et génère un gaz actif. Une structure combinée de couvercles (31, 32) comporte des canaux d'écoulement de matière gazeuse de départ (31h, 32h) pour un trajet d'alimentation en matière gazeuse de départ, lesdits canaux d'écoulement de matière gazeuse de départ séparant complètement l'espace de décharge (66) et un espace d'application de tension de courant alternatif (R31) les uns des autres, et indépendamment de l'espace d'application de tension de courant alternatif (R31), guidant vers l'espace de décharge (66) la matière gazeuse de départ fournie depuis l'extérieur. Un espace de contact de boîtier (R34) formé entre un boîtier métallique (34) et les couvercles (31, 32) et entre le boîtier métallique et une table de disposition de section de constitution d'électrode (33) est complètement séparé de l'espace d'application de tension de courant alternatif (R31) et de l'espace de décharge (66).
(JA) 本発明は、良質な活性ガスを生成することができる活性ガス生成装置を提供することを目的とする。そして、本発明は、活性ガス生成用電極群(301)の高圧側電極構成部(1A)と接地側電極構成部(2A)との間に形成される放電空間(66)による放電によって、供給された原料ガスを活性化して活性ガスを生成する。カバー(31及び32)の組み合わせ構造は、放電空間(66)と交流電圧印加空間(R31)とを完全分離し、かつ、交流電圧印加空間(R31)と独立して、外部から供給される原料ガスを放電空間(66)に導く、原料ガス供給経路用の原料ガス流路(31h,32h)を有する。金属筐体(34)とカバー(31及び32)並びに電極構成部設置台(33)との間に形成される筐体接触空間(R34)は、交流電圧印加空間(R31)、放電空間(66)それぞれと完全分離される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)