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1. (WO2018101453) 仮止接着剤および部品製造方法

Pub. No.:    WO/2018/101453    International Application No.:    PCT/JP2017/043216
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017
IPC: C09J 193/04
C09J 193/02
H01L 21/304
Applicants: DNP FINE CHEMICALS CO., LTD.
株式会社DNPファインケミカル
Inventors: FUKUCHI Masaru
福地 勝
YOSHINO Masashi
吉野 政志
ODAGIRI Kunihiko
小田切 邦彦
IWASAKI Akira
岩崎 章
Title: 仮止接着剤および部品製造方法
Abstract:
加工用基板に対し、加工対象である種々の部品前駆体を良好に仮止することが可能な仮止接着剤を提供し、またウエハの被研磨面を高精度に研磨可能とする研磨工程を備えるウエハ製造方法を提供する。 仮止接着剤は、ロジン、セラック、炭素数5以下のアルコールである低級アルコール、および分子内に2個以上の水酸基を有するアルコール誘導体である多価アルコール誘導体、を含み、また部品製造方法は、上記仮止接着剤を用い、部品前駆体と加工用基板との間に接着用塗膜を形成し、前記加工用基板に前記部品前駆体を仮止する仮止工程、および前記仮止工程において前記加工用基板に仮止された前記部品前駆体の被加工面を加工する加工工程を備える。