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1. (WO2018101352) ポジ型感光性組成物、それを用いたパターンおよびパターンの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/101352    International Application No.:    PCT/JP2017/042876
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 30 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/004
G03F 7/039
Applicants: ADEKA CORPORATION
株式会社ADEKA
Inventors: MIHARA Taiki
三原 大樹
MIYAKE Junya
三宅 惇哉
SATO Naomi
佐藤 直美
Title: ポジ型感光性組成物、それを用いたパターンおよびパターンの製造方法
Abstract:
硬化時における感度に優れたポジ型感光性組成物、それを用いたパターンおよびパターンの製造方法を提供する。 下記一般式(I)、 (一般式(I)中、X1は炭素原子数1~14の直鎖または分岐鎖アルキル基等を表し、R1は、脂肪族炭化水素基、アリール基、アリールアルキル基、アシル基で置換されたアリール基、脂環式炭化水素基等で表される基を表し、脂肪族炭化水素基、アリール基、アリールアルキル基は、置換基を有しないか、ハロゲン原子等で置換されていてもよい。)で表されるスルホン酸誘導体化合物(A)、および下記一般式(III)、 (式中、R5は、水素原子またはメチル基を表し、R6は、炭素原子数1~4のアルキル基等であり、fは、0~4の数であり、*は、*部分で、隣接する基と結合することを意味する。)で表される構成単位を必須とする高分子化合物(B)を含有する。