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1. (WO2018101126) プラズマ発生器
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国際公開番号: WO/2018/101126 国際出願番号: PCT/JP2017/041842
国際公開日: 07.06.2018 国際出願日: 21.11.2017
IPC:
H05H 1/24 (2006.01) ,H01L 41/107 (2006.01) ,H02M 7/48 (2007.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41
圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08
圧電または電歪素子
107
電気的入力および電気的出力をもつもの
H 電気
02
電力の発電,変換,配電
M
交流-交流,交流-直流または直流-直流変換装置,および主要な,または類似の電力供給システムと共に使用するための装置:直流または交流入力-サージ出力変換;そのための制御または調整
7
交流入力一直流出力変換;直流入力―交流出力変換
42
直流入力―交流出力変換であって非可逆的なもの
44
静止型変換器によるもの
48
制御電極をもつ放電管または制御電極をもつ半導体装置を用いるもの
出願人:
TDK株式会社 TDK CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝浦三丁目9番1号 3-9-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo 1080023, JP
発明者:
塩原 孝弘 SHIOHARA Takahiro; JP
鴨野 武志 KAMONO Takeshi; JP
優先権情報:
2016-23484602.12.2016JP
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATOR
(FR) GÉNÉRATEUR DE PLASMA
(JA) プラズマ発生器
要約:
(EN) Provided is a plasma generator that can adjust the plasma generation amount, with a simple structure. The plasma generator is provided with a control circuit that controls the frequency of alternating current power supplied to a piezoelectric transformer, and a control signal generating circuit that supplies a control signal to the control circuit, the plasma generator being configured so as to be able to appropriately adjust the control signal outputted from the control signal generating circuit. The control circuit controls the frequency of the alternating current power such that a detection value approaches a corresponding target value that is set on the basis of the control signal supplied from the control signal generating circuit.
(FR) L'invention concerne un générateur de plasma qui peut ajuster la quantité de génération de plasma, avec une structure simple. Le générateur de plasma est pourvu d'un circuit de commande qui commande la fréquence d'une alimentation en courant alternatif fournie à un transformateur piézoélectrique, et d'un circuit de génération de signal de commande qui fournit un signal de commande au circuit de commande, le générateur de plasma étant configuré de façon à pouvoir ajuster de manière appropriée le signal de commande émis par le circuit de génération de signal de commande. Le circuit de commande commande la fréquence de l'alimentation en courant alternatif de telle sorte qu'une valeur de détection s'approche d'une valeur cible correspondante qui est réglée sur la base du signal de commande émis par le circuit de génération de signal de commande.
(JA) 簡易な構成でプラズマの発生量を調整することができるプラズマ発生器を提供する。 圧電トランスに供給される交流電力の周波数を制御する制御回路と、制御回路に制御信号を与える制御信号発生回路を備え、制御信号発生回路から出力される制御信号を適宜調整できるように構成されている。制御回路は、制御信号発生回路から与えられる制御信号に基づいて設定された目標値に、それに対応する検出値を近づけるように交流電力の周波数を制御する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)