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1. (WO2018101026) ガスバリア性フィルム

Pub. No.:    WO/2018/101026    International Application No.:    PCT/JP2017/040899
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 15 00:59:59 CET 2017
IPC: B32B 9/00
C23C 16/42
Applicants: KONICA MINOLTA, INC.
コニカミノルタ株式会社
Inventors: MIYAZAKI Miho
宮▲崎▼ 美帆
Title: ガスバリア性フィルム
Abstract:
ガスバリア層の炭素分布曲線が4個以上の極大値を有し、[膜厚/極大値数]が25nm以下であり、ガスバリア層の組成をSiOxCyで表した際に、y<0.20の組成を有する領域とy>1.40の組成を有する領域との合計が厚さ方向に20nm未満であり、伸長処理を施していない前記ガスバリア性フィルム[A]と、2%の伸長処理を施した前記ガスバリア性フィルム[B]の標準偏差(σ)が共に[σ<0.30]を満たす。