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1. (WO2018101023) X線反射率測定装置
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国際公開番号: WO/2018/101023 国際出願番号: PCT/JP2017/040880
国際公開日: 07.06.2018 国際出願日: 14.11.2017
IPC:
G01N 23/20 (2018.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23
グループG01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
20
放射線の回折の利用によるもの,例.結晶構造の調査のためのもの;放射線の反射の利用によるもの
出願人:
株式会社リガク RIGAKU CORPORATION [JP/JP]; 東京都昭島市松原町3丁目9番12号 9-12, Matsubara-cho 3-chome, Akishima-shi, Tokyo 1968666, JP
発明者:
村上 智 MURAKAMI, Satoshi; JP
表 和彦 OMOTE, Kazuhiko; JP
菊田 真也 KIKUTA, Shinya; JP
池下 昭弘 IKESHITA, Akihiro; JP
代理人:
杉本 修司 SUGIMOTO, Shuji; JP
野田 雅士 NODA, Masashi; JP
堤 健郎 TSUTSUMI, Takeo; JP
優先権情報:
2016-23140129.11.2016JP
発明の名称: (EN) X-RAY REFLECTIVITY MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE RÉFLECTIVITÉ DE RAYONS X
(JA) X線反射率測定装置
要約:
(EN) This X-ray reflectivity measurement device comprises: an irradiation-angle-change-enabling means (10) for changing the angle at which a concentrated X-ray beam (6) is irradiated onto a specimen surface (8a); a fixed position-sensitive detector (14); and a reflection-intensity-calculation means (15) that, solely for detection elements (11) that are synchronized with the change in the irradiation angle (θ) of the collective X-ray beam (6) caused by the irradiation-angle-change-enabling means (10) and that are positioned within the emission angle band of a reflected X-ray beam (12) in the position-sensitive detector (14), adds together the detection intensity of corresponding detection elements (11) for each reflection angle of reflected X-rays (13) constituting the reflected X-ray beam (12).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mesure de réflectivité de rayons X qui comprend : un moyen d’activation de changement d’angle d’irradiation (10) pour modifier l’angle auquel un faisceau de rayons X concentré (6) est irradié sur une surface d’échantillon (8a) ; un détecteur fixe sensible à la position (14) ; et un moyen de calcul d’intensité de réflexion (15) qui, uniquement pour des éléments de détection (11) qui sont synchronisés avec le changement de l’angle d’irradiation (θ) du faisceau de rayons X collectif (6) causé par le moyen d’activation de changement d’angle d’irradiation (10) et qui sont positionnés dans la bande d’angle d’émission d’un faisceau de rayons X réfléchi (12) dans le détecteur sensible à la position (14), additionne conjointement l’intensité de détection d’éléments de détection correspondants (11) pour chaque angle de réflexion des rayons X réfléchis (13) constituant le faisceau de rayons X réfléchi (12).
(JA) 本発明のX線反射率測定装置は、試料表面(8a)への集光X線ビーム(6)の照射角度を変化させる照射角度可変手段(10)と、固定された位置敏感型検出器(14)と、照射角度可変手段(10)による集光X線ビーム(6)の照射角度(θ)の変化に同期して、位置敏感型検出器(14)において反射X線ビーム(12)の発散角度幅内に位置する検出素子(11)のみについて、反射X線ビーム(12)を構成する反射X線(13)の反射角度ごとに、対応する検出素子(11)の検出強度を積算する反射強度算出手段(15)とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)