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1. (WO2018100968) バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法
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国際公開番号: WO/2018/100968 国際出願番号: PCT/JP2017/039732
国際公開日: 07.06.2018 国際出願日: 02.11.2017
IPC:
F16K 1/00 (2006.01) ,F16K 7/14 (2006.01) ,F16K 31/122 (2006.01) ,H01L 21/205 (2006.01) ,F16K 31/02 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
1
リフト弁,すなわち少なくとも1つの構成要素が閉鎖面に垂直な開閉動作をする閉鎖部材をもつ締め切り装置
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
7
ダイヤフラム締め切り装置,例.流路を閉鎖するために,全部は動かないが,変形される部材をもつもの
12
平担,皿状,わん状,のダイヤフラム
14
平担弁座面に対して変形されるように配置されているもの
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
12
流体により作動されるもの
122
流体がピストンに作用するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20
基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
205
固体を析出させるガス状化合物の還元または分解を用いるもの,すなわち化学的析出を用いるもの
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
02
電気;磁気
出願人:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012, JP
発明者:
吉田 俊英 YOSHIDA Toshihide; JP
中田 知宏 NAKATA Tomohiro; JP
篠原 努 SHINOHARA Tsutomu; JP
稲田 敏之 INADA Toshiyuki; JP
船越 高志 FUNAKOSHI Takashi; JP
佐藤 秀信 SATO Hidenobu; JP
湯原 知子 YUHARA Tomoko; JP
代理人:
藤本 健司 FUJIMOTO Kenji; JP
優先権情報:
2016-23367330.11.2016JP
発明の名称: (EN) VALVE DEVICE, AND FLOW CONTROL METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD USING SAID VALVE DEVICE
(FR) SOUPAPE, ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION D'ÉCOULEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR FAISANT APPEL À LADITE SOUPAPE
(JA) バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法
要約:
(EN) [Problem] To provide a valve device having a widened range of flow rate control and improved versatility. [Solution] This valve device has: a valve body 10 for defining flow passages 12, 13; a diaphragm 20 provided to the valve body 10 so as to be capable of opening and closing the flow passages 12, 13; an operating member 40 for operating the diaphragm 20 so that the diaphragm 20 can move in opening and closing directions A1, A2 in which the diaphragm 20 opens and closes the flow passages 12, 13; a main actuator 60 for applying a drive force to the operating member 40, the drive force corresponding to operating pressure applied in the opening direction A1 or the closing direction of the opening and closing directions; and a switching mechanism capable of selectively switching, according to the magnitude of operating pressure, the position of the operating member 40 which defines the degree of opening of the flow passages, to a first open position P1 or a second open position P2, the first and second open positions P1, P2 being different from each other; and adjustment mechanisms 70, 80 capable of independently adjusting the first open position P1 and the second open position P2.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de pourvoir à une soupape présentant une plage élargie de régulation de débit et une polyvalence améliorée. La solution selon l'invention concerne une soupape comprenant : un corps de soupape (10) définissant des passages d'écoulement (12, 13) ; un diaphragme (20) agencé dans le corps de soupape (10) afin de pouvoir ouvrir et fermer les passages d'écoulement (12, 13) ; un élément de manœuvre (40) destiné à actionner le diaphragme (20) afin de permettre le déplacement du diaphragme (20) dans des directions d'ouverture et de fermeture (A1, A2) dans lesquelles le diaphragme (20) ouvre et ferme les passages d'écoulement (12, 13) ; un actionneur principal (60) destiné à appliquer une force d'entraînement à l'élément de manœuvre (40), la force d'entraînement correspondant à la pression d'actionnement appliquée dans la direction d'ouverture (A1) ou dans la direction de fermeture parmi les directions d'ouverture et de fermeture ; et un mécanisme de commutation pouvant commuter de manière sélective, en fonction de la grandeur de la pression d'actionnement, la position de l'élément de manœuvre (40) définissant le degré d'ouverture des passages d'écoulement, vers une première position ouverte (P1) ou vers une seconde position ouverte (P2), les première et seconde positions ouvertes (P1, P2) étant différentes l'une de l'autre ; et des mécanismes de réglage (70, 80) pouvant régler indépendamment la première position ouverte (P1) et la seconde position ouverte (P2).
(JA) 【課題】流量制御範囲が広がり、汎用性が向上したバルブ装置を提供する。 【解決手段】流路12,13を画定するバルブボディ10と、バルブボディ10に対して流路12,13を開閉可能に設けられたダイヤフラム20と、ダイヤフラム20を操作して流路12,13を開閉させる開閉方向A1,A2に移動可能に設けられた操作部材40と、操作部材40に対して開閉方向の開方向A1又は閉方向に与えられる操作圧に応じた駆動力を付与する主アクチュエータ60と、流路の開度を規定する操作部材40の位置を互いに異なる第1の開位置P1又は第2の開位置P2に操作圧の大きさに応じて選択的に切り換え可能な切換機構と、第1の開位置P1および第2の開位置P2をそれぞれ独立に調節可能な調節機構70,80と、を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)