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1. (WO2018100932) アルミニウム合金スパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/100932 国際出願番号: PCT/JP2017/038667
国際公開日: 07.06.2018 国際出願日: 26.10.2017
IPC:
C23C 14/34 (2006.01) ,C22C 21/00 (2006.01)
出願人: KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC.[JP/JP]; 1-5-1, Wakinohama-kaigan-dori, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6510073, JP
発明者: OKUNO, Hiroyuki; --
MATSUMURA, Hiromi; --
代理人: SAMEJIMA, Mutsumi; JP
YAMAO, Norihito; JP
優先権情報:
2016-23206930.11.2016JP
発明の名称: (EN) ALUMINUM ALLOY SPUTTERING TARGET
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION D'ALLIAGE D'ALUMINIUM
(JA) アルミニウム合金スパッタリングターゲット
要約:
(EN) Provided is an aluminum alloy sputtering target characterized by comprising a total amount of 0.01-0.04 at.% of one or more elements selected from the group consisting of Ni, Cr, Fe, Co, and Cu, a total amount of 0.01-0.06 at.% of one or more elements selected from rare-earth elements except for La, and the remaining portion being Al and unavoidable impurities.
(FR) L'invention concerne une cible de pulvérisation d'alliage d'aluminium caractérisée en ce qu'elle comprend une quantité totale de 0,01 à 0,04 at. % d'un ou de plusieurs éléments choisis dans le groupe constitué par Ni, Cr, Fe, Co et Cu, une quantité totale de 0,01 à 0,06 at. % d'un ou de plusieurs éléments choisis parmi les éléments des terres rares à l'exception de La, et la partie restante étant de l'Al et des impuretés inévitables.
(JA) Ni、Cr、Fe、CoおよびCuからなる群から選択される少なくとも1種の元素を合計で0.01原子%~0.04原子%と、La以外の希土類元素から選択される少なくとも1種の元素を合計で0.01原子%~0.06原子%とを含み、残部がAlおよび不可避不純物であることを特徴とするアルミニウム合金スパッタリングターゲットである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)