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1. (WO2018100903) ウエハ保持体

Pub. No.:    WO/2018/100903    International Application No.:    PCT/JP2017/037468
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 18 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/683
H01L 21/02
H05B 3/18
H05B 3/74
Applicants: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
住友電気工業株式会社
Inventors: KIMURA Koichi
木村 功一
MIKUMO Akira
三雲 晃
Title: ウエハ保持体
Abstract:
被処理物の載置面を上面に備えた載置台と載置台を下面側から支持する支持部材と、一方の端部が載置台の下面側に気密に接合されている第1筒状部材と、第1筒状部材の内側に配置され、かつ、一方の端部が載置台の下面側に気密に接合されている第2筒状部材と、を有するウエハ保持体。