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1. (WO2018100881) 載置台及び電子デバイス検査装置

Pub. No.:    WO/2018/100881    International Application No.:    PCT/JP2017/036400
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01R 31/26
H01L 21/66
H01L 21/683
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KASAI Shigeru
河西 繁
FUJISAWA Yoshinori
藤澤 良徳
Title: 載置台及び電子デバイス検査装置
Abstract:
コスト高を抑制することができる電子デバイス検査装置を提供する。プローバ10はキャリアCやウエハWを載置するステージ11を備え、該ステージ11は、キャリアCが載置されるステージ蓋27と、該ステージ蓋27と当接する冷却ユニット29と、ステージ蓋27及び冷却ユニット29を介してキャリアCに対向するように配置されるLED照射ユニット30とを備え、ステージ蓋27及び冷却ユニット29は光透過部材からなり、冷却ユニット29の冷媒流路28を光が透過可能な冷媒が流れ、LED照射ユニット30はキャリアCを指向する多数のLED32を有し、キャリアCは略円板状のガラス基板24からなり、複数の電子デバイス25が互いに所定の間隔をおいて表面に配置されている。