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1. (WO2018100618) レーザガス再生システム及びレーザシステム

Pub. No.:    WO/2018/100618    International Application No.:    PCT/JP2016/085340
Publication Date: Fri Jun 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 30 00:59:59 CET 2016
IPC: H01S 3/03
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: YASHIRO Masanori
八代 将徳
TSUSHIMA Hiroaki
對馬 弘朗
WAKABAYASHI Osamu
若林 理
Title: レーザガス再生システム及びレーザシステム
Abstract:
レーザガス再生システムは、第1のレーザガスをレーザチャンバに供給可能に構成された第1の配管と、第1のレーザガスよりもハロゲンガス濃度の高い第2のレーザガスをレーザチャンバに供給可能に構成された第2の配管と、レーザチャンバから排出されたガスを通過可能に構成された第3の配管と、を含むエキシマレーザ装置のためのレーザガス再生システムであって、第3の配管を通過したガスを精製するガス精製部と、ガス精製部に流入して精製されたガスを第4の配管と第5の配管とに分岐させる分岐部と、第4の配管に分岐したガスを第1の配管に供給する第1の再生ガス供給部と、第5の配管に分岐したガスにハロゲンガスを添加し、ハロゲンガスを添加されたガスを第2の配管に供給する第2の再生ガス供給部と、を備える。