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1. (WO2018088479) 光検出装置

Pub. No.:    WO/2018/088479    International Application No.:    PCT/JP2017/040439
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 10 00:59:59 CET 2017
IPC: G01J 1/42
G01J 1/02
H01L 27/146
H01L 31/10
H01L 31/107
G01T 1/20
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: BABA Takashi
馬場 隆
ADACHI Shunsuke
足立 俊介
NAKAMURA Shigeyuki
中村 重幸
NAGANO Terumasa
永野 輝昌
YAMAMOTO Koei
山本 晃永
Title: 光検出装置
Abstract:
光検出装置は、複数の画素が一次元配列されている半導体基板を備えている。光検出装置は、画素毎に、ガイガーモードで動作する複数のアバランシェフォトダイオードと、対応するアバランシェフォトダイオードに電気的に直列接続されている複数のクエンチング抵抗と、複数のアバランシェフォトダイオードからの出力信号を処理する信号処理部と、を有している。複数のアバランシェフォトダイオードの受光領域は、画素毎に、二次元配列されている。各信号処理部は、ゲート接地回路と、ゲート接地回路に電気的に接続されているカレントミラー回路と、を有している。ゲート接地回路には、複数のクエンチング抵抗を通して、対応する画素の複数のアバランシェフォトダイオードが電気的に接続されている。カレントミラー回路は、複数のアバランシェフォトダイオードからの出力信号に対応する信号を出力する。