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1. (WO2018088370) 研磨用組成物及びシリコンウェーハの研磨方法

Pub. No.:    WO/2018/088370    International Application No.:    PCT/JP2017/039982
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 07 00:59:59 CET 2017
IPC: C09K 3/14
B24B 37/00
C09G 1/02
H01L 21/304
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: AKIZUKI Reiko
秋月 麗子
TSUCHIYA Kohsuke
土屋 公亮
TANIGUCHI Megumi
谷口 恵
Title: 研磨用組成物及びシリコンウェーハの研磨方法
Abstract:
高い平坦性を実現可能な研磨用組成物及びシリコンウェーハの研磨方法を提供する。研磨用組成物は、砥粒と塩基性化合物とを含有する。そして、この砥粒は、砥粒を17質量%の濃度で含有するとともにテトラメチルアンモニウムヒドロキシドを含有しpHが11.3であるせん断粘度測定用液の、せん断速度1000/sにおけるせん断粘度が、1.3mPa・s以上となるものである。