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1. (WO2018088326) バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法
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国際公開番号: WO/2018/088326 国際出願番号: PCT/JP2017/039729
国際公開日: 17.05.2018 国際出願日: 02.11.2017
IPC:
F16K 31/02 (2006.01) ,F16K 31/122 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
02
電気;磁気
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
12
流体により作動されるもの
122
流体がピストンに作用するもの
出願人:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012, JP
発明者:
吉田 俊英 YOSHIDA Toshihide; JP
中田 知宏 NAKATA Tomohiro; JP
篠原 努 SHINOHARA Tsutomu; JP
稲田 敏之 INADA Toshiyuki; JP
船越 高志 FUNAKOSHI Takashi; JP
代理人:
藤本 健司 FUJIMOTO Kenji; JP
優先権情報:
2016-21809308.11.2016JP
発明の名称: (EN) VALVE DEVICE, FLOW RATE CONTROL METHOD USING SAID VALVE DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
(FR) DISPOSITIF VANNE, PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE DÉBIT UTILISANT LEDIT DISPOSITIF VANNE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法
要約:
(EN) [Problem] To provide a valve device for which the person-hours required for flow rate adjustment have been greatly reduced. [Solution] The present invention includes: a valve body 10 that demarcates a flow path 12; a valve element 20 provided so as to be capable of opening and closing the flow path 12 of the valve body; an operating member 40 that operating the valve element in opening and closing directions A1, A2 in which the valve element 20 is caused to open or close the flow path 12, the operating member being provided so as to be capable of moving between a closed position CP at which the valve element 20 closes the flow path and an opening position OP at which the valve element 20 opens the flow path 12, such positions being set in advance; a main actuator 60 for causing the operating member 40 to move in the opening direction A1; and a piezoelectric actuator 100 for adjusting a position of the operating member 40 positioned at the opening position OP.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif vanne permettant de réduire fortement les heures nécessaires à une personne pour régler un débit. La solution selon la présente invention fait appel à : un corps de vanne 10 qui délimite un trajet d'écoulement 12 ; un élément vanne 20 disposé de manière à pouvoir ouvrir et fermer le trajet d'écoulement 12 du corps de vanne ; un élément de mise en œuvre 40 qui met en œuvre l'élément vanne dans des sens d'ouverture et de fermeture A1, A2 dans lesquels l'élément vanne 20 est amené à ouvrir ou à fermer le trajet d'écoulement 12, l'élément de mise en œuvre étant disposé de façon à pouvoir se déplacer entre une position fermée CP au niveau de laquelle l'élément vanne 20 ferme le trajet d'écoulement et une position d'ouverture OP au niveau de laquelle l'élément vanne 20 ouvre le trajet d'écoulement 12, lesdites positions étant définies à l'avance ; un actionneur principal 60 destiné à amener l'élément de mise en œuvre 40 à se déplacer dans le sens d'ouverture A1 ; et un actionneur piézoélectrique 100 destiné à régler une position de l'élément de mise en œuvre 40 positionné au niveau de la position d'ouverture OP.
(JA) 【課題】流量調整のための工数が大幅に削減されたバルブ装置を提供する。 【解決手段】流路12を画定するバルブボディ10と、バルブボディの流路12を開閉可能に設けられた弁体20と、弁体20に流路12を開閉させる開閉方向A1,A2において、予め設定された弁体20に流路を閉鎖させる閉位置CPと弁体20に流路12を開放させる開位置OPとの間で移動可能に設けられた弁体を操作する操作部材40と、操作部材40を開方向A1に移動させる主アクチュエータ60と、開位置OPに位置付けられた操作部材40の位置を調整するための圧電アクチュエータ100とを有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)