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1. (WO2018088202) 洗浄液及び基板を洗浄する方法

Pub. No.:    WO/2018/088202    International Application No.:    PCT/JP2017/038387
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C11D 7/08
C11D 7/22
C11D 7/50
C11D 17/08
Applicants: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
東京応化工業株式会社
Inventors: GOTO Tatsuo
後藤 竜生
SEKI Kenji
関 健司
Title: 洗浄液及び基板を洗浄する方法
Abstract:
フォトレジストパターンの残渣物や、エッチング残渣物の除去等に用いられる洗浄液であって、窒化ケイ素に対する防食性に優れる洗浄液、及びこれを用いて基板を洗浄する方法を提供すること。 フッ化水素酸(A)、及び溶媒(S)を含有する洗浄液に、防食剤(B)として、カルボン酸アミド結合(-CO-N<)と、不飽和二重結合とを有する特定の構造の化合物に由来する単位を含む重合体を配合する。防食剤(B)として使用される重合体としては、ポリビニルピロリドンが好ましい。