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1. (WO2018088088) セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液
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国際公開番号: WO/2018/088088 国際出願番号: PCT/JP2017/036516
国際公開日: 17.05.2018 国際出願日: 06.10.2017
IPC:
C01B 33/14 (2006.01) ,B24B 37/00 (2012.01) ,C01F 17/00 (2006.01) ,C09K 3/14 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
[IPC code unknown for C01B 33/14][IPC code unknown for B24B 37][IPC code unknown for C01F 17][IPC code unknown for C09K 3/14][IPC code unknown for H01L 21/304]
出願人:
日揮触媒化成株式会社 JGC CATALYSTS AND CHEMICALS LTD. [JP/JP]; 神奈川県川崎市幸区堀川町580番地 580, Horikawa-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120013, JP
発明者:
小松 通郎 KOMATSU, Michio; JP
俵迫 祐二 TAWARAZAKO, Yuji; JP
碓田 真也 USUDA, Shinya; JP
中山 和洋 NAKAYAMA, Kazuhiro; JP
川上 翔大 KAWAKAMI, Shota; JP
代理人:
右田 俊介 MIGITA, Shunsuke; JP
高橋 政治 TAKAHASHI, Masaharu; JP
優先権情報:
2016-22174714.11.2016JP
2017-01318927.01.2017JP
発明の名称: (EN) CERIA COMPOSITE PARTICLE DISPERSION, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND POLISHING ABRASIVE GRAIN DISPERSION COMPRISING CERIA COMPOSITE PARTICLE DISPERSION
(FR) DISPERSION DE PARTICULES COMPOSITES D'OXYDE DE CÉRIUM, SA MÉTHODE DE PRODUCTION, ET DISPERSION DE GRAINS ABRASIFS DE POLISSAGE COMPRENANT UNE DISPERSION DE PARTICULES COMPOSITES D'OXYDE DE CÉRIUM
(JA) セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液
要約:
(EN) The present invention addresses the problem of providing a silica composite particle dispersion capable of polishing silica films, Si wafers, or difficult-to-machine materials at high speed and of achieving high surface precision at the same time. This problem is solved by a ceria composite particle dispersion comprising ceria composite particles having an average particle size of 50 to 350 nm and having the features described below. Each ceria composite particle comprises a mother particle, a cerium-containing silica layer on the surface thereof, and child particles dispersed inside the cerium-containing silica layer, the mother particles being amorphous silica-based and the child particles being crystalline ceria-based. The child particles have a coefficient of variation (CV value) in a particle size distribution of 14 to 40%. The ceria composite particles have a mass ratio of silica to ceria of 100:11-316. Only the crystal phase of ceria is detected when the ceria composite particles are subjected to X-ray diffraction. The average crystallite size of the crystalline ceria measured by subjecting the ceria composite particles to X-ray diffraction is 10 to 25 nm.
(FR) La présente invention aborde le problème de la fourniture d'une dispersion de particules composites de silice capable de polir des films de silice, des tranches de Si, ou des matériaux difficiles à usiner à grande vitesse et d'obtenir une précision de surface élevée en même temps. Ce problème est résolu par une dispersion de particules composites d'oxyde de cérium comprenant des particules composites d'oxyde de cérium ayant une taille de particule moyenne de 50 à 350 nm et ayant les caractéristiques décrites ci-dessous. Chaque particule composite d'oxyde de cérium comprend une particule mère, une couche de silice contenant du cérium sur sa surface, et des particules filles dispersées à l'intérieur de la couche de silice contenant du cérium, les particules mères étant à base de silice amorphe et les particules filles étant à base d'oxyde de cérium cristallin. Les particules filles ont un coefficient de variation (valeur CV) dans une distribution de taille de particule de 14 à 40 %. Les particules composites d'oxyde de cérium ont un rapport de masse de silice à l'oxyde de cérium de 100:11-316. Seule la phase cristalline de l'oxyde de cérium est détectée lorsque les particules composites d'oxyde de cérium sont soumises à une diffraction des rayons X. La taille moyenne des cristallites de l'oxyde de cérium cristallin mesurée en soumettant les particules composites d'oxyde de cérium à une diffraction des rayons X est de 10 à 25 nm.
(JA) シリカ膜、Siウェハや難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度を達成できることができるシリカ系複合粒子分散液を提供することを課題とする。この課題を、下記の特徴を備える平均粒子径50~350nmのセリア系複合微粒子を含むセリア系複合微粒子分散液によって解決する。セリア系複合微粒子は母粒子とその表面上のセリウム含有シリカ層とセリウム含有シリカ層の内部に分散している子粒子とを有し、母粒子は非晶質シリカを主成分とし、子粒子は結晶性セリアを主成分とすること。子粒子の粒子径分布における変動係数(CV値)が14~40%であること。セリア系複合微粒子はシリカとセリアとの質量比が100:11~316であること。セリア系複合微粒子はX線回折に供するとセリアの結晶相のみが検出されること。セリア系複合微粒子はX線回折に供して測定される結晶性セリアの平均結晶子径が10~25nmであること。
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)