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1. (WO2018088049) インプリント装置、インプリント方法、及び物品製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/088049 国際出願番号: PCT/JP2017/034872
国際公開日: 17.05.2018 国際出願日: 27.09.2017
IPC:
H01L 21/027 (2006.01) ,B29C 59/02 (2006.01)
出願人: CANON KABUSHIKI KAISHA[JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
発明者: YOSHIDA, Setsuo; JP
HASEGAWA, Noriyasu; JP
代理人: OHTSUKA, Yasunori; JP
OHTSUKA, Yasuhiro; JP
TAKAYANAGI, Jiro; JP
KIMURA, Shuji; JP
優先権情報:
2016-22092711.11.2016JP
発明の名称: (EN) IMPRINT DEVICE, IMPRINT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D’EMPREINTE, PROCÉDÉ D’EMPREINTE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’ARTICLE
(JA) インプリント装置、インプリント方法、及び物品製造方法
要約: front page image
(EN) Provided is an imprint device that includes a mold holding unit that holds and moves a mold, and a substrate holding unit that has a plurality of suction regions in which a substrate is suctioned and that holds and moves the substrate. When releasing the mold, the imprint device makes the suction force in a suction region, of the plurality of suction regions, at a position at which the mold separates from an imprint material weaker than the suction force in a suction region closer to the outer peripheral side of the substrate than that position, moves at least one of the mold holding unit and the substrate holding unit by a prescribed amount such that the space between the mold and the substrate becomes larger, and then tilts the mold holding unit.
(FR) L’invention concerne un dispositif d’empreinte qui inclut une unité porte-moule qui porte et déplace un moule, et une unité porte-substrat qui a une pluralité de zones d’aspiration dans lesquelles un substrat est aspiré et qui porte et déplace le substrat. Lors de la libération du moule, le dispositif d’empreinte exerce la force d’aspiration dans une zone d’aspiration, parmi la pluralité de zones d’aspiration, à un position à laquelle le moule se sépare d’un matériau d’empreinte plus faible que la force d’aspiration dans une zone d’aspiration plus proche du côté périphérique extérieur du substrat que cette position, déplace au moins une unité parmi l’unité porte-moule et l’unité porte-substrat d’une quantité prédéfinie de sorte que l’espace entre le moule et le substrat devienne plus large, puis incline l’unité porte-moule.
(JA) インプリント装置は、型を保持して移動する型保持部と、基板を吸着する複数の吸着領域を有し、基板を保持して移動する基板保持部とを有する。インプリント装置は、離型を行う際に、複数の吸着領域のうち、型がインプリント材から剥離する位置の吸着領域の吸着力を、当該位置より基板の外周側にある吸着領域よりも弱め、型と基板との間隔を広げるように型保持部および基板保持部の少なくとも一方を所定量移動させてから、型保持部を傾斜させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)