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1. (WO2018087910) 状態制御装置、状態制御方法及び状態制御装置に用いられるマスターコントローラ

Pub. No.:    WO/2018/087910    International Application No.:    PCT/JP2016/083659
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 15 00:59:59 CET 2016
IPC: G05B 19/05
G05B 7/02
G05B 11/36
G05D 23/19
Applicants: RKC INSTRUMENT INC.
理化工業株式会社
Inventors: TAKAHASHI, Kouta
高橋 洸太
Title: 状態制御装置、状態制御方法及び状態制御装置に用いられるマスターコントローラ
Abstract:
差分値算出部(14)により算出されたそれぞれの差分値ΔTM,ΔTS-1,ΔTS-2と、時間の経過に伴って変化する目標値Ttgtに対する測定値の許容差分値Valとをそれぞれ比較し、差分値ΔTM,ΔTS-1,ΔTS-2の中に、許容差分値Valよりも大きい差分値が存在するか否かを判定する判定部(15)を設け、目標値制御部(16)が、判定部(15)によって許容差分値Valよりも大きい差分値が存在しないと判定された場合、目標値Ttgtの変化を継続させ、判定部(15)によって、許容差分値Valよりも大きい差分値が存在すると判定された場合、目標値Ttgtの変化を停止させる。