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1. (WO2018087895) レーザ装置および極端紫外光生成装置

Pub. No.:    WO/2018/087895    International Application No.:    PCT/JP2016/083595
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 12 00:59:59 CET 2016
IPC: H01S 3/10
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: NIWANO, Motoki
庭野 素己
Title: レーザ装置および極端紫外光生成装置
Abstract:
【課題】マスターオシレータから発せられたパルスレーザ光を、高電圧パルスが印加されて開く光シャッタに通すレーザ装置において、高電圧パルスの印加タイミングを、光シャッタにパルスレーザ光が到達するタイミングと一致させる。 【解決手段】レーザ装置は、発光トリガ信号(S21)に基づいてパルスレーザ光(L)を出力するマスターオシレータ(100)、発光トリガ信号(S21)の受信時から所定の遅延時間を置いてスイッチング信号(S10)を生成する遅延回路(153)、スイッチング信号(S10)に基づいて高電圧パルスを生成する高電圧スイッチ(304)、パルスレーザ光(L)の光路上に位置し高電圧パルスに基づいて駆動される光シャッタ(32k)、および高電圧パルスを検出して高電圧パルス検知信号(S6)を遅延回路(153)に送信する高電圧モニタ(151)を含む。遅延回路(153)は、発光トリガ信号(S21)と高電圧パルス検知信号(S6)とに基づいて遅延時間を決定する。