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1. (WO2018084133) 紫外線処理装置

Pub. No.:    WO/2018/084133    International Application No.:    PCT/JP2017/039275
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 01 00:59:59 CET 2017
IPC: B08B 7/00
G03F 1/82
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
ウシオ電機株式会社
Inventors: YOSHIHARA, Keita
吉原 啓太
YAMAMORI, Kenji
山森 賢治
Title: 紫外線処理装置
Abstract:
本発明は、高い信頼性をもって被処理物の被処理面を部分的に処理することのできる紫外線処理装置を提供することを目的とする。 紫外線を放射する紫外線ランプと、紫外線透過性窓部材とを備えており、当該紫外線ランプからの紫外線が、当該紫外線透過性窓部材を介して、当該紫外線透過性窓部材と離間して対向配置された被処理物の被処理領域に照射される紫外線処理装置であって、前記被処理物における前記被処理領域以外の処理禁止領域の形状に対応する形状を有する、前記紫外線ランプからの光を遮光する遮光部材が、当該処理禁止領域と対向し、かつ当該被処理物と離間するように設けられており、前記遮光部材には、当該遮光部材と前記被処理物との間の間隙にパージガスを供給するパージガス供給口が設けられていることを特徴とする。