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1. (WO2018083987) ステルスダイシング用粘着シート

Pub. No.:    WO/2018/083987    International Application No.:    PCT/JP2017/037740
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 19 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/301
C09J 7/02
C09J 133/04
H01L 21/683
Applicants: LINTEC CORPORATION
リンテック株式会社
Inventors: YAMASHITA Shigeyuki
山下 茂之
Title: ステルスダイシング用粘着シート
Abstract:
基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えたステルスダイシング用粘着シートであって、前記基材が、23℃における引張弾性率が50MPa以上、450MPa以下であり、前記粘着剤層が、アクリル酸n-ブチル、アクリル酸2-ヒドロキシエチル、およびアルキル基の炭素数が2以下の(メタ)アクリル酸アルキルエステルを構成モノマーとして含むアクリル系共重合体を含むエネルギー線硬化性粘着剤から構成されているステルスダイシング用粘着シート。かかるステルスダイシング用粘着シートは、耐溶剤性およびヒートシュリンク性に優れる。