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1. (WO2018083918) 保持装置、検査装置、検査方法、樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止品の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/083918 国際出願番号: PCT/JP2017/035027
国際公開日: 11.05.2018 国際出願日: 27.09.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/56 (2006.01) ,H05K 13/04 (2006.01) ,H05K 13/08 (2006.01)
出願人: TOWA CORPORATION[JP/JP]; 5, Kamitoba Kamichoshi-cho, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018105, JP
発明者: OWARI Hiroki; JP
TAKADA Naoki; JP
SHIRASAWA Masanori; JP
NAKAO Satoshi; JP
TAKADA Junko; JP
代理人: OKADA Kazuhide; JP
優先権情報:
2016-21579904.11.2016JP
発明の名称: (EN) HOLDING DEVICE, INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, RESIN-SEALING DEVICE, RESIN-SEALING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING RESIN-SEALED PRODUCT
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN, DISPOSITIF D'INSPECTION, PROCÉDÉ D'INSPECTION, DISPOSITIF D'ÉTANCHÉITÉ EN RÉSINE, PROCÉDÉ D'ÉTANCHÉITÉ EN RÉSINE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PRODUIT D' ÉTANCHÉITÉ EN RÉSINE
(JA) 保持装置、検査装置、検査方法、樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止品の製造方法
要約: front page image
(EN) In order to stably hold a subject on a table by correcting deformation of the subject if the subject has been deformed, this holding device is provided with: a table, on which the subject is to be placed; a plurality of suction holes for sucking the subject, said suction holes being provided in the table; a sealing material, which is provided to the table, and which surrounds the suction holes; a pressing member that presses, at a position where the sealing material is disposed, the periphery of the subject to the table; and a depressurization mechanism connected to the suction holes.
(FR) Afin de maintenir de manière stable un objet sur une table par correction de la déformation de l'objet si l'objet a été déformé, ce dispositif de maintien de la présente invention comprend: une table, sur laquelle l'objet doit être placé; une pluralité de trous d'aspiration pour aspirer l'objet, lesdits trous d'aspiration étant disposés dans la table; un matériau d'étanchéité, qui est disposé sur la table, et qui entoure les trous d'aspiration; un élément de pression qui presse, à une position où le matériau d'étanchéité est disposé, la périphérie de l'objet à la table; et un mécanisme de dépressurisation relié aux trous d'aspiration.
(JA) 変形した対象物であっても対象物の変形を矯正し安定してテーブルに保持するために、保持装置は、対象物が載置されるテーブルと、テーブルに設けられ対象物を吸引する複数の吸引孔と、テーブルに設けられ複数の吸引孔の周囲を取り囲むシール材と、シール材が配置された位置において、対象物の周囲をテーブルに押圧する押圧部材と、複数の吸引孔に接続される減圧機構とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)